Исследование структуры и свойств покрытий на молибдене, полученных в процессе низкотемпературного силицирования в виброкипящем слое
Аннотация
МОЛИБДЕН, СИЛИЦИРОВАНИЕ, СИЛИЦИДЫ, ОКИСЛЕНИЕ,
РАСТРЕСКИВАНИЕ
Объектом исследования являлись образцы молибдена после вакуумного рекристаллизационного отжига. Образцы были подвергнуты низко температурному силицированию в виброкипящем слое в среде чистого кремния с использованием активатора NH3 при температурах (850, 900, 950 ˚С) с выдержкой 120 минут. Проанализированы результаты металлографического и микрорентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа образцов после силицированния, были рассчитаны константы скорости роста фаз и сопоставлены с литературными данными. Произведены сравнения эффективности толщин покрытий при высокотемпературном окислении (1300 ˚С, 1,5 ч.).
РАСТРЕСКИВАНИЕ
Объектом исследования являлись образцы молибдена после вакуумного рекристаллизационного отжига. Образцы были подвергнуты низко температурному силицированию в виброкипящем слое в среде чистого кремния с использованием активатора NH3 при температурах (850, 900, 950 ˚С) с выдержкой 120 минут. Проанализированы результаты металлографического и микрорентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа образцов после силицированния, были рассчитаны константы скорости роста фаз и сопоставлены с литературными данными. Произведены сравнения эффективности толщин покрытий при высокотемпературном окислении (1300 ˚С, 1,5 ч.).