Разработка источника электронного излучения и методики измерения спектров катодолюминесценции нанометровых пленок
Аннотация
Пояснительная записка 75 с., 42 рис., 11 табл., 24 источника
КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ, ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
В работе описан процесс проектирования и изготовления источника электронного излучения (электронная пушка) для измерения катодолюминесценции тонких диэлектрических пленок.
Энергия ускоряющего потенциала источника выбиралась на основании расчета пробега электрона в материале исследуемых образов. В качестве объектов измерения были выбраны пленки оксидов гафния-циркония и скандия. Эти материалы являются high-k диэлектриками.
По окончанию монтажа установки была проведена верификация источника электронного излучения. Также приводится обсуждение спектров катодолюминесценции
КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ, ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
В работе описан процесс проектирования и изготовления источника электронного излучения (электронная пушка) для измерения катодолюминесценции тонких диэлектрических пленок.
Энергия ускоряющего потенциала источника выбиралась на основании расчета пробега электрона в материале исследуемых образов. В качестве объектов измерения были выбраны пленки оксидов гафния-циркония и скандия. Эти материалы являются high-k диэлектриками.
По окончанию монтажа установки была проведена верификация источника электронного излучения. Также приводится обсуждение спектров катодолюминесценции