модернизация установки булат-6
Аннотация
БУЛАТ-6, ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА, ЭЛЕКТРОДУГОВЫЕ ИСПАРИ-ТЕЛИ, ПОДЛОЖКА, ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ
Цель работы – изучить технические характеристики установки ион-но-плазменного напыления и найти подходящие по характеристикам ис-точники питания подложки и электродуговых испарителей.
Выпускная квалификационная работа проведена кафедрой «Экспериментальной физики» «Физико-технологического института».
В ходе работы использовались 5 альбомов эксплуатационной доку-ментации, которые имеются в единичном экземпляре. Так же был допуск к установке в том виде, в котором она на данный момент находится на тер-ритории института. Главной проблемой данной установки является год производства – 1986. И источники питания, которые штатно устанавливались, сейчас купить невозможно, так как они разработаны были специально для булат-6. На основе полученных данных были выбраны новые ис-точники питания.
Источники:
1) triton alutig 400Р AC/DC W;
2) блок питания нагревателя «ИВЭ-046SA»;
3) биполярный импульсный блок питания «ИВЭ-232BWS/295B».
Цель работы – изучить технические характеристики установки ион-но-плазменного напыления и найти подходящие по характеристикам ис-точники питания подложки и электродуговых испарителей.
Выпускная квалификационная работа проведена кафедрой «Экспериментальной физики» «Физико-технологического института».
В ходе работы использовались 5 альбомов эксплуатационной доку-ментации, которые имеются в единичном экземпляре. Так же был допуск к установке в том виде, в котором она на данный момент находится на тер-ритории института. Главной проблемой данной установки является год производства – 1986. И источники питания, которые штатно устанавливались, сейчас купить невозможно, так как они разработаны были специально для булат-6. На основе полученных данных были выбраны новые ис-точники питания.
Источники:
1) triton alutig 400Р AC/DC W;
2) блок питания нагревателя «ИВЭ-046SA»;
3) биполярный импульсный блок питания «ИВЭ-232BWS/295B».