КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОПОРОШКОВ ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА МЕТОДАМИ РАМАНОВСКОЙ, КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНОЙ И РЕНТГЕНОВСКОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

Аннотация

Основными технологическими и трудно определяемыми примесями в h-BN выступают углерод и кислород. На производстве возникает необходимость в контроле качества с высоким пространственным разрешением как отдельных нанослоев h-BN, так и готовых гетероструктур на его основе. Целью работы является разработка способа неразрушающего контроля дефектности и примесного состава тонких слоев h-BN методами комбинационного рассеяния света и катодолюминесцентной спектрометрии.
Выполнен литературный обзор особенностей материала гексагонального нитрида бора и его люминесцентных свойств. Проведены измерения исследуемых образцов при помощи рамановского спектрометра, сканирующего электронного микроскопа с катодолюминесцентной приставкой и электронно-зондового микроанализатора. Выполнен анализ полученных результатов.
Области применения: диагностика и контроль качества.