Определение радиуса контактной площадки проводящего зонда сканирующего зондового микроскопа

Аннотация

Работа посвящена исследованию методов определения радиуса контактной площадки и жесткости проводящего зонда сканирующего зондового микроскопа. В первой части исследованы методы определения жесткости зондов. Проведен анализ расхождения полученных жесткостей зондов с указанными производителями. Также методом конечных элементов исследовано влияние геометрических параметров на жесткость. Во второй части работы проведен расчет радиуса контактной площадки зондов методом решения обратной задачи через экспериментальные электростатические кривые. Исследована корреляция радиусов контактной площадки полученных методом конечных элементов с радиусами, измеренными на сканирующем электронном микроскопе. В третьей части работы исследована зависимость ширины доменной стенки от радиуса контактной площадки зонда методом сканирования силовой микроскопией пьезоэлектрического отклика.