Исследование фотоотклика образцов сверхлегированного кремния и определение локальной ориентации кристаллической решетки на основе метода каналирования электронов
Аннотация
Работа посвящена исследованию фотоотклика образцов сверхлегированного кремния полученных путем лазерного легирования золота, а также определению кристаллографической ориентации модифицированной кристаллической решетки.
В ходе работы были получены следующие результаты: построены зависимости фоточувствительности от температуры и мощности лазерного излучения, разработана методика определения кристаллографических ориентаций на основе метода каналирования электронов, была исследована ориентация кристаллической решетки сверхлегированного кремния.
В ходе работы были получены следующие результаты: построены зависимости фоточувствительности от температуры и мощности лазерного излучения, разработана методика определения кристаллографических ориентаций на основе метода каналирования электронов, была исследована ориентация кристаллической решетки сверхлегированного кремния.