Моделирование пьезоэлектрических колебаний в квадратных мем-бранах на основе нитрида кремния

Шугаев Кирилл Евгеньевич

Аннотация


Работа содержит 41 страницу и 20 рисунков.
Выпускная работа бакалавра посвящена моделированию пьезоэлек-трических колебаний в квадратных мембранах на основе нитрида кремния.
В ходе работы была смоделирована трехслойная мембрана, состоя-щая из слоя аморфного нитрида кремния Si3N4, слоя напылённого алю-миния и графена, нанесённого на нитрид кремния с обратной стороны от алюминия.
В данной работе были произведены расчеты частот и мод двух мем-бран с различной геометрией. Также была решена задача по решению ста-ционарной задачи и нахождению пьезокоэффициентов. После этого были получены соответствующие результаты и сделаны выводы.