Определение толщины тонких пленок методом рентгеновского микроанализа

Коркин Денис Евгеньевич

Аннотация


Выпускная квалификационная работа посвящена исследованию применения методики определения толщины тонких покрытий с помощью ентгеновского микроанализа, а именно методом энергодисперсионной рентгеновской спектрометрии на примере пленок золота, хрома и углерода. Для эксперимента использовались пленки различной толщины, качество нанесения пленок проверено с помощью независимых методов. Проведено компьютерное моделирование для теоретического обоснования методики.
Выполнена работа по изучению различных методов определения толщины покрытий. Выработана методика определения толщины пленок через зависимость, построенную на основании теоретического моделирования и экспериментальных данных рентгеновского микроанализа. Полученная зависимость использовалась для исследования пленок неизвестной толщины.