Разработка стандартных образцов удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления кремния монокристаллического
Аннотация
Выпускная квалификационная работа состоит из введения, основной части, заключения, списка использованных источников и литературы, состоящего из 16 пунктов. Работа изложена на 71 странице и содержит 11 рисунков, 15 таблиц и 8 приложений.
ИСПЫТАНИЯ В ЦЕЛЯХ УТВЕРЖДЕНИЯ ТИПА, СТАНДАРТНЫЕ ОБРАЗЦЫ, УДЕЛЬНОЕ ПОВЕРХНОСТНОЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, ЧЕТЫРЁХЗОНДОВЫЙ МЕТОД, ПОВЕРКА
Объект исследования – стандартные образцы удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления кремния монокристаллического.
Целью исследования является разработка стандартных образцов утвержденного типа кремния монокристаллического с аттестованными значениями УПЭС с последующим применением их в деятельности лаборатории.
Установление метрологических характеристик стандартных образцов проведено четырёхзондовым методом.
Проведены исследования внутриэкземплярной однородности и стабильности стандартных образцов. Разработанные СО были применены для испытаний в целях утверждения типа установки 1510E В SA и для ее поверки. Проведена работа по измерению УПЭС кремниевых пластин с целью оценки возможности использования их в качестве материала повторных партий СО УПЭС.
Областью применения разработанных стандартных образцов является УНИИМ – филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».
ИСПЫТАНИЯ В ЦЕЛЯХ УТВЕРЖДЕНИЯ ТИПА, СТАНДАРТНЫЕ ОБРАЗЦЫ, УДЕЛЬНОЕ ПОВЕРХНОСТНОЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, ЧЕТЫРЁХЗОНДОВЫЙ МЕТОД, ПОВЕРКА
Объект исследования – стандартные образцы удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления кремния монокристаллического.
Целью исследования является разработка стандартных образцов утвержденного типа кремния монокристаллического с аттестованными значениями УПЭС с последующим применением их в деятельности лаборатории.
Установление метрологических характеристик стандартных образцов проведено четырёхзондовым методом.
Проведены исследования внутриэкземплярной однородности и стабильности стандартных образцов. Разработанные СО были применены для испытаний в целях утверждения типа установки 1510E В SA и для ее поверки. Проведена работа по измерению УПЭС кремниевых пластин с целью оценки возможности использования их в качестве материала повторных партий СО УПЭС.
Областью применения разработанных стандартных образцов является УНИИМ – филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».