Разработка критериев оценки качества тонких пленок нанокристаллических сплавов
Аннотация
Выпускная работа «Разработка критериев оценки качества тонких пленок нанокристаллических сплавов» посвящена исследованию аморфных и нанокристаллических сплавов типа Finemet, в частности влиянию различных факторов на качество тонких пленок. Были изучены магнитные тонкие пленки сплавов FeCuSiBW, FeCuSiBNb, FeCuSiBNbMo толщиной в диапазоне от 10 до 200 нм. Для проведения исследований применялись: метод рентгеновской флуресцентной спектрометрии для определения химического состава пленок, метод атомно-силовой микроскопии для исследования поверхности тонких пленок с целью определения ее шероховатости. Измерения толщины и шероховатости тонких пленок проводились с помощью стилусного профилометра Dektak 150.
В данной работе показано, что реальная толщина всех пленок оказалась меньше заданной по времени напыления ввиду меньшей скорости напыления. Было показано, что шероховатость увеличивается с увеличением толщины пленок, а также температурой термообработки. Сравнение шероховатости пленок, нанесенных на положки из стекла и монокристаллического кремния, показало, что кремниевая подложка является более предпочтительной ввиду меньшей шероховатости пленок на ней. Анализ химического состава напыленных пленок обнаружил несоответствие некоторых элементов составу мишени напыляемого сплава. Наибольше различие наблюдается для количества меди, которой в пленке оказалось в два раза меньше, чем в исходном сплаве.
Результаты работы были представлены на XXVI Российской молодежной конференции «Проблемы теоретической и экспериментальной химии», проходившей в г. Екатеринбург с 27 по 29 апреля 2016 г.
Выпускная работа состоит из 4 глав, введение и заключение общим объемом 32 страницы. В работе содержится 14 таблиц, 13 рисунков и 8 формул. Для подготовки работы изучено 9 источников литературы.
В данной работе показано, что реальная толщина всех пленок оказалась меньше заданной по времени напыления ввиду меньшей скорости напыления. Было показано, что шероховатость увеличивается с увеличением толщины пленок, а также температурой термообработки. Сравнение шероховатости пленок, нанесенных на положки из стекла и монокристаллического кремния, показало, что кремниевая подложка является более предпочтительной ввиду меньшей шероховатости пленок на ней. Анализ химического состава напыленных пленок обнаружил несоответствие некоторых элементов составу мишени напыляемого сплава. Наибольше различие наблюдается для количества меди, которой в пленке оказалось в два раза меньше, чем в исходном сплаве.
Результаты работы были представлены на XXVI Российской молодежной конференции «Проблемы теоретической и экспериментальной химии», проходившей в г. Екатеринбург с 27 по 29 апреля 2016 г.
Выпускная работа состоит из 4 глав, введение и заключение общим объемом 32 страницы. В работе содержится 14 таблиц, 13 рисунков и 8 формул. Для подготовки работы изучено 9 источников литературы.