Электроосаждение благородных металлов на полупроводниковые структуры

Вайсбеккер Мария Сергеевна

Аннотация


Используемые в настоящее время методы нанесения золота на полупроводниковые структуры, в том числе на кремний, требуют дорогостоящего оборудования и не гарантируют получение слоев с хорошей адгезией. Этих недостатков лишен электрохимический метод. Цель работы - разработать основы технологии нанесения слоев золота с хорошей адгезией на кремний.