Пленки FexZn1-xS: прогнозирование условий образования, химическое осаждение, морфология, состав, оптические свойства
Аннотация
Магистерская диссертация посвящена получению тонких пленок ZnS, легированных хлоридом железа, в системе «хлорид цинка – хлорид железа – гидроксид аммония – цитрат натрия – тиокарбамид». Для оценки условий осаждения основных и примесных фаз путем термодинамических расчетов рассчитаны граничные условия и области образования ZnS, Fe2S3, Zn(OH)2 и Fe(OH)3. Химическим осаждением на стекле, ситалле, кварце и кремнии синтезированы пленки ZnS: Fe толщиной от 223 до 304 нм в зависимости от типа подложки и концентрации хлорида железа в реакционной смеси.
Полученные плёнки были исследованы с использованием растрового электронного микроскопа с энергодисперсионной рентгеновской приставкой (EDS). Изучена зависимость морфологии поверхности, размера частиц и элементного состава ZnхFeх-1S от материала подложки (стекло, ситалл, кварц, кремний) и от концентрации легирующей добавки. Исследованы оптические свойства тонкопленочного покрытия с установлением ширины запрещенной зоны и рассчитаны механические напряжения ZnS: Fe.
Полученные плёнки были исследованы с использованием растрового электронного микроскопа с энергодисперсионной рентгеновской приставкой (EDS). Изучена зависимость морфологии поверхности, размера частиц и элементного состава ZnхFeх-1S от материала подложки (стекло, ситалл, кварц, кремний) и от концентрации легирующей добавки. Исследованы оптические свойства тонкопленочного покрытия с установлением ширины запрещенной зоны и рассчитаны механические напряжения ZnS: Fe.