Электроосаждение кремния из расплавов KCl-K2SiF6

Аннотация

Цель работы – исследование возможности осаждения кремния и кремниевых композитных материалов из галогенидных расплавов на основе KCl-K2SiF6. В разделе посвящённому методике постановки эксперимента описаны способы подготовки индивидуальных солей. В экспериментальной части исследовано влияние материала подложки на кинетику электроосаждения кремния из исследуемого расплава. Приведён расчёт коэффициента диффузии и представлено обоснование выбранной модели. Исследовано влияние кислород содержащей добавки, а также добавки катиона щелочного металла с большим ионным радиусом на кинетику электроосаждения кремния и стабильность ионов кремния в расплаве. В части работы, посвящённой электроосаждению кремния при различных условиях, описано влияние кислород содержащей добавки на морфологию катодного осадка.