Электрохимический синтез тонкопленочных материалов на основе кремния из апротонных электролитов

Аннотация

Цель работы – исследование процесса электрохимического синтеза тонкопленочных материалов на основе кремния из апротонных электролитов. В работе исследована кинетика процесса электроосаждения кремния из апротонных растворителей методом циклической вольтамперометрии. Во всех используемых растворителях (пропиленкарбонат, ацетонитрил) и на всех типах подложек (Cu, Ag, Ni, стеклоуглерод) наблюдается изменение хода поляризационных кривых при добавлении тетрахлорида кремния в состав электролита. Осаждение кремния на подложки проводили в потенциостатическом режиме, потенциал выбирали в области максимума тока на поляризационной кривой. Образующийся осадок представляет собой пленку, которая на воздухе быстро покрывается белым налетом, предположительно оксида кремния. Степень равномерности пленки невысокая, в состав осадка во всех случаях помимо кремния входит C (менее 1%) и Cl (до 2%).