Подбор раствора травителя для слоев PbSe и оптимизация условий проведения фотолитографии

Аннотация

Работа посвящена подбору раствора травления для тонких пленок селенида свинца, полученных методом гидрохимического осаждения. Рассмотрены методы изготовления фоточувствительных и контактных площадок фоторезисторов, а также химические свойства селенида свинца. Проведен термодинамический анализ условий растворения селенида свинца в равновесных и неравновесных условиях. По результатам травления слоев селенида свинца были выбраны лучшие композиции растворов травления. Методом фотолитографии с использованием двух способов формирования контактных площадок – электрохимическим осаждением и термическим вакуумным напылением – были изготовлены фоторезисторы на основе селенида свинца. Проведены измерения фотоэлектрических параметров изготовленных фоторезисторов с целью исследования влияния процесса травления на их свойства.