Получение тонких плёнок оксида цинка, легированного алюминием, методом гидрохимического осаждения

Аннотация

Магистерская диссертация посвящена получению индивидуальных и легированных тонких плёнок оксидов алюминия и цинка в аммиачных и щелочных системах с использованием формамида и диметилформамида. Проведён расчёт индивидуальных и совместных условий осаждения гидроксидов алюминия и цинка в щелочных и аммиачных средах. Химическим осаждением синтезированы плёнки различных составов. Полученные плёнки Al2O3-ФА, Al2O3-ФА, Al2O3-ZnO-ФА и Al2O3-ZnO-ДМФА были исследованы с использованием рентгенофазового анализа, ИК-Фурье спектроскопии и растровой электронной микроскопии. Изучена зависимость морфологии поверхности, размера кристаллов, элементного состава и ИК-спектров отражения от выбранного вещества-осадителя