Получение химическим осаждением из растворов пленок на основе HfO2

Аннотация

Магистерская диссертация посвящена получению тонкопленочных электролитов на основе оксида гафния методом химического осаждения из растворов. Десятикратным вытягиванием из спиртовых растворов солей с последующим прокаливанием получены сплошные плотные пленки Hf0.78Yb0.22O1.89 на подложках YSZ, изучен их фазовый состав, морфология и электрические свойства