Гидрохимический синтез и электрофизические свойства пленок SnO2 для формирования полупроводниковых гетероструктур

Аннотация

Работа направлена на разработку гидрохимического метода получения тонких пленок диоксида олова. Рассчитаны граничные условия образования гидроксида олова (II). Исследовано влияние легирующих добавок на состав, морфологию и омическое сопротивление пленок диоксида олова. Составлена рецептура для получения тонких пленок с минимальным омическим сопротивлением. Изучено влияние стадии термообработки в процессе синтеза оксидных пленок олова, а так же определен оптимальный температурный режим отжига. Приведены экспериментальные данные, описывающие зависимость толщины пленок от исходной концентрации соли олова в растворе и pH области осаждения. Гидрохимическим методом получены макетные экспериментальные образцы тонкопленочных гетероструктур для фотопреобразователей с проводящим слоем диоксида олова в качестве тыльного контакта. Исследованы фотоэлектрические характеристики сформированных гетероструктур с использованием имитатора солнечного излучения.