Разработка технологий осаждения пленок допированного иттрием ZrO2 методом спрей-пиролиза

Караванский Никита Андреевич

Аннотация


Работа посвящена разработке условий синтеза методом спрей-пиролиза прозрачных пленок оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия YSZ с использованием трех растворителей: смеси ДМФА и диоксана, смеси ДМФА и этилового спирта и смеси ДМФА и ацетона. Температура синтеза пленок составляла 500°C. Полученные слои были исследованы с использованием сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской дифракции с целью изучения их структуры и морфологии. Изучено влияние состава и концентрации растворителся на состояние конечного продукта процесса спрей-пиролиза.