Разработка условий синтеза проводящих слоев SnO2 методом спрей-пиролиза

Аннотация

Работа посвящена разработке условий синтеза прозрачных проводящих слоев оксида (IV) олова, легированных фторидом аммония с использованием трех растворителей: изопропилового спирта, этилового спирта и ацетона. Температуры синтеза пленок составляла 320, 345 и 370°C. Полученные слои были исследованы с использованием интерференционной микроскопии с целью определения их толщины. В работе были исследованы электропроводные свойства пленок SnO2 и тип их проводимости. Установлена взаимосвязь функциональных свойств пленок от их толщины, рабочей температуры подложки, используемого растворителя, скорости потока газа-носителя, а также других условий проведения процесса синтеза