Разработка методики проведения фотолитографии на химически осажденных слоях халькогенидов свинца

Роговой Михаил Сергеевич

Аннотация


Работа посвящена разработке методики фотолитографии на тонких слоях сульфида свинца, осаждённых гидрохимическим методом. Рассмотрены виды литографии и основные операции фотолитографии. Экспериментально установлены оптимальные условия проведения следующих операций фотолитографии: конвекционная термообработка фоторезиста, экспонирование, проявление, задубливание и травление. По разработанной методике с учётом подобранных оптимальных условий изготовлены фотоприёмники. Качество элементов фотоприёмников исследовали с помощью растровой электронной и оптической микроскопии. Проведены измерения фотоэлектрических параметров полученных чипов и рассчитан процент рабочих фотоприёмников.