Исследование кинетики процесса травления тонких пленок PbS в солянокислых растворах
Аннотация
В работе для жидкостного травления тонких пленок сульфида свинца в процессе фотолитографии предложен солянокислый раствор, содержащий пероксид водорода и глицерин.
Проведен термодинамический анализ условий растворения PbS в обратимых и необратимых условиях. Показано влияние лигандов, в частности Cl–, и pH на равновесие процесса растворения сульфида свинца. Рассмотрен механизм окислительного действия пероксида водорода на сульфид свинца и соляную кислоту.
Проведены комплексные кинетические исследования процесса травления. Составлено формальное кинетическое уравнение скорости травления сульфида свинца. Найдены частные порядки реакции по соляной кислоте, перекиси водорода и глицерину. Определена энергия активации процесса.
Изучено относительное изменение массы пленки сульфида свинца до и после травления в зависимости от длительности процесса.
Проведен термодинамический анализ условий растворения PbS в обратимых и необратимых условиях. Показано влияние лигандов, в частности Cl–, и pH на равновесие процесса растворения сульфида свинца. Рассмотрен механизм окислительного действия пероксида водорода на сульфид свинца и соляную кислоту.
Проведены комплексные кинетические исследования процесса травления. Составлено формальное кинетическое уравнение скорости травления сульфида свинца. Найдены частные порядки реакции по соляной кислоте, перекиси водорода и глицерину. Определена энергия активации процесса.
Изучено относительное изменение массы пленки сульфида свинца до и после травления в зависимости от длительности процесса.