ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ ПОСРЕДСТВОМ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ ОБРАБОТКИ НАРУЖНОЙ ПОВЕРХНОСТИ СЛИТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА

Агаева Эльвира Эльдаровна

Аннотация


В данной работе произведен анализ технических достижений в области технологии обработки полупроводниковых материалов, разработан способ калибровки слитка полупроводникового материала, от которого зависят качество последующих операций и функциональные возможности конечного изделия, проанализирован механизм образования трещины в слитке полупроводникового материала, а также понятие нарушенного слоя. На основании полученной информации создана геометрия алмазного режущего инструмента для обработки полупроводниковых материалов.
В рамках данной работы получена заявка на патент «Способ калибровки слитка полупроводникового материала».