ПЕРСПЕКТИВНАЯ РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ, ИНСТРУМЕНТА И МОДЕРНИЗАЦИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ЛЕЗВИЙНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН КАРБИДА КРЕМНИЯ
Аннотация
АННОТАЦИЯ
Меркулов И.А. Перспективная разработка технологии, инструмента и модернизация оборудования для лезвийной обработки пластин карбида кремния. Магистерская диссертация. Магистратура по направлению 15.04.04 «Автоматизация технологических процессов и производств». УрФУ, Институт новых материалов и технологий, 2017.
Ключевые слова: карбид кремния, скрайбирование, алмазный резец, кремний, риска, монокристалл, дефектный слой, алмаз.
Актуальность выполненной работы обусловлена необходимостью использовать современные отечественные приборы, созданные на основе полупроводниковых подложек карбида кремния, так как данный материал позволяет производить продукцию специального назначения.
Целью выпускной квалификационной работы является исследование процессов скрайбирования карбида кремния, сравнивая с аналогичными хорошо исследованными процессами на кремнии.
Основные результаты работы обладают новизной и заключаются в следующем.
1. Изучено различие между кремнием и карбидом кремния по физическим и химическим свойствам.
2. Проанализированы все известные на данный момент способы разделения пластин на кристаллы. Выявлено, какой способ является самым простым и в то же время самым эффективным.
3. Определено, как будут изменяться процессы разрушений пластин в момент их скрайбирования 3-х гранным алмазным резцом.
Меркулов И.А. Перспективная разработка технологии, инструмента и модернизация оборудования для лезвийной обработки пластин карбида кремния. Магистерская диссертация. Магистратура по направлению 15.04.04 «Автоматизация технологических процессов и производств». УрФУ, Институт новых материалов и технологий, 2017.
Ключевые слова: карбид кремния, скрайбирование, алмазный резец, кремний, риска, монокристалл, дефектный слой, алмаз.
Актуальность выполненной работы обусловлена необходимостью использовать современные отечественные приборы, созданные на основе полупроводниковых подложек карбида кремния, так как данный материал позволяет производить продукцию специального назначения.
Целью выпускной квалификационной работы является исследование процессов скрайбирования карбида кремния, сравнивая с аналогичными хорошо исследованными процессами на кремнии.
Основные результаты работы обладают новизной и заключаются в следующем.
1. Изучено различие между кремнием и карбидом кремния по физическим и химическим свойствам.
2. Проанализированы все известные на данный момент способы разделения пластин на кристаллы. Выявлено, какой способ является самым простым и в то же время самым эффективным.
3. Определено, как будут изменяться процессы разрушений пластин в момент их скрайбирования 3-х гранным алмазным резцом.