Разработка технологии полирования плоских оптических поверхностей деталей, изготовленных из сапфира

Гапоненко Александр Александрович

Аннотация


Целью выпускной квалификационной работы является разработка высокоэффективной технологии обработки пластин из лейкосапфира на имеющемся прогрессивном оборудовании предприятия АО «ПО УОМЗ», которое позволяет сократить технологический цикл изготовления детали минимум в 2 раза.
На базе теоретических исследований были проведены экспериментальные работы по выбору рациональных режимов шлифовки и полировки крупногабаритных лейкосапфировых пластин. Также был подобран обрабатывающий материал.
Были разработаны методики: проведения испытаний по шлифованию и полированию оптического лейкосапфира, методика контроля шероховатой поверхности для исследуемых образцов, методика измерения отклонения формы поверхности N и ΔN.
В результате проделанной работы были определены эллипсометрические параметры, параметры ИК-спектров отражения и шероховатость образцов, допуски на отклонения формы поверхности.
Исследования в данном аспекте ранее не проводились