Исследование температурной и токовой стабильности тонких пленок хрома, используемых при изготовлении тонкопленочных резисторов для СВЧ микроузлов
Аннотация
Магистерская диссертация 124 страницы, 42 рисунка, 61 таблица, 20 источников, 7 приложений, 1 публикация.
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ ИЗ ХРОМА, ТОКОВАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, ВРЕМЕННА́Я СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, УДЕЛЬНОЕ ПОВЕРХНОСТНОЕ СОПРОТИТВЛЕНИЕ, НЕОБРАТИМОЕ ИЗМЕНЕНИЕ НОМИНАЛОВ РЕЗИСТОРОВ, УДЕЛЬНАЯ МОЩНОСТЬ РАССЕЯНИЯ, КОЭФФИЦИЕНТ ФОРМЫ РЕЗИСТОРОВ, ТЕМПЕРАТУРНЫЙ КОЭФФИЦИЕНТ СОПРОТИВЛЕНИЯ, ЗАЩИТНЫЙ СЛОЙ ИЗ ФОТОРЕЗИСТА МАРКИ ФП-383
Объект разработки: технология изготовления стабильных резисторов из тонких пленок хрома для бортовой радиоэлектронной аппаратуры.
Цель работы: разработка технологии изготовления тонкопленочных резисторов с минимальными необратимыми изменениями номиналов резисторов в течение времени эксплуатации изделий предприятия при воздействии электрического тока и температуры.
Методы исследования: температурное и токовое воздействие на изготовленные резисторы и последующий расчет обратимых и необратимых изменений номиналов резисторов. Расчеты выполнены c использованием среды Microsoft Word, Microsoft Excel, Mathcad.
Полученные результаты: проведены исследования температурной, временно́й и токовой стабильности резисторов. Разработаны предложения по улучшению технологии, выданы рекомендации по увеличению стабильности резисторов из тонких пленок хрома.
Новизна: уточнённая технология изготовления резисторов позволит изготавливать резисторы с наименьшими необратимыми изменениями сопротивлений резисторов в процессе эксплуатации аппаратуры предприятия.
Область применения: изготовление тонкопленочных резисторов для СВЧ микроузлов бортовой радиоэлектронной аппаратуры.
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ ИЗ ХРОМА, ТОКОВАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, ВРЕМЕННА́Я СТАБИЛЬНОСТЬ РЕЗИСТОРОВ, УДЕЛЬНОЕ ПОВЕРХНОСТНОЕ СОПРОТИТВЛЕНИЕ, НЕОБРАТИМОЕ ИЗМЕНЕНИЕ НОМИНАЛОВ РЕЗИСТОРОВ, УДЕЛЬНАЯ МОЩНОСТЬ РАССЕЯНИЯ, КОЭФФИЦИЕНТ ФОРМЫ РЕЗИСТОРОВ, ТЕМПЕРАТУРНЫЙ КОЭФФИЦИЕНТ СОПРОТИВЛЕНИЯ, ЗАЩИТНЫЙ СЛОЙ ИЗ ФОТОРЕЗИСТА МАРКИ ФП-383
Объект разработки: технология изготовления стабильных резисторов из тонких пленок хрома для бортовой радиоэлектронной аппаратуры.
Цель работы: разработка технологии изготовления тонкопленочных резисторов с минимальными необратимыми изменениями номиналов резисторов в течение времени эксплуатации изделий предприятия при воздействии электрического тока и температуры.
Методы исследования: температурное и токовое воздействие на изготовленные резисторы и последующий расчет обратимых и необратимых изменений номиналов резисторов. Расчеты выполнены c использованием среды Microsoft Word, Microsoft Excel, Mathcad.
Полученные результаты: проведены исследования температурной, временно́й и токовой стабильности резисторов. Разработаны предложения по улучшению технологии, выданы рекомендации по увеличению стабильности резисторов из тонких пленок хрома.
Новизна: уточнённая технология изготовления резисторов позволит изготавливать резисторы с наименьшими необратимыми изменениями сопротивлений резисторов в процессе эксплуатации аппаратуры предприятия.
Область применения: изготовление тонкопленочных резисторов для СВЧ микроузлов бортовой радиоэлектронной аппаратуры.