Модуляция состава нитридных покрытий в несамостоятельном сильноточном разряде, поддерживаемым широким пучком низкоэнергетических электронов
Аннотация
Объект разработки: новый метод получения покрытий, позволяющий модулировать фазовый состав в покрытиях нанометровой толщины.
Цель работы: изучить влияние активации Ar – N2 газовой смеси широким (100 см2) пучком низкоэнергетических (100 - 150 эВ) электронов на фазовый состав, микроструктуру и уровень внутренних напряжений TiNx покрытий, наносимых реактивным магнетронным распылением.
Методы исследования: рентгеноструктурный анализ, осциллографические измерения, измерение толщины покрытий методом сферического шлифа, измерение твердости и модуля Юнга методом Оливера – Фарра, расчет внутренних напряжении производился с помощью формулы Стони.
Полученные результаты: В импульсно-периодическом режиме генерации электронного пучка при постоянном малом потоке азота получены многослойные нанокристаллические TiNx/TiN покрытия с регулируемым в широких пределах (6 – 100 нм) соотношением толщин слоев, которые существенно различаются микротвердостью и фазовым составом.
Новизна: безынерционный способ модуляции фазового состава нитридных покрытий, основанный на активации газовой смеси пучком низкоэнергетических электронов и позволяющий получать многослойные покрытия с наноразмерным периодом.
Область применения: технологии нанесения наноструктурированных покрытий методом реакционного магнетронного распыления с повышенными эксплуатационными характеристиками в качестве защитных покрытий на металлорежущие инструменты и детали машин
Цель работы: изучить влияние активации Ar – N2 газовой смеси широким (100 см2) пучком низкоэнергетических (100 - 150 эВ) электронов на фазовый состав, микроструктуру и уровень внутренних напряжений TiNx покрытий, наносимых реактивным магнетронным распылением.
Методы исследования: рентгеноструктурный анализ, осциллографические измерения, измерение толщины покрытий методом сферического шлифа, измерение твердости и модуля Юнга методом Оливера – Фарра, расчет внутренних напряжении производился с помощью формулы Стони.
Полученные результаты: В импульсно-периодическом режиме генерации электронного пучка при постоянном малом потоке азота получены многослойные нанокристаллические TiNx/TiN покрытия с регулируемым в широких пределах (6 – 100 нм) соотношением толщин слоев, которые существенно различаются микротвердостью и фазовым составом.
Новизна: безынерционный способ модуляции фазового состава нитридных покрытий, основанный на активации газовой смеси пучком низкоэнергетических электронов и позволяющий получать многослойные покрытия с наноразмерным периодом.
Область применения: технологии нанесения наноструктурированных покрытий методом реакционного магнетронного распыления с повышенными эксплуатационными характеристиками в качестве защитных покрытий на металлорежущие инструменты и детали машин