Измерительный комплекс на базе модульной микрозондовой платформы для изучения электрофизических характеристик материалов
Аннотация
Для изучения электрофизических свойств широкозонных полупроводников собран модуль оптической стимуляции в микрозондовой станции Cascade Microtech MPS 150. Стимуляция производится светом полупроводникового лазера с длиной волны 532 нм. Управление лазером производится непосредственно из программы измерения характеристик материалов (написанной в среде LabView) и позволяет изменять мощность от 2 до 225 мВт/с путем изменения скважности управляющих импульсов.
Разработан и собран модуль подогрева образца в микрозондовой станции Cascade Microtech MPS 150. Модуль имеет независимое от измерительного тракта управление нагревом и позволяет нагревать образец до 120 °С за 7,5 мин и поддерживать температуру образца с точностью до 0,1 °С.
Разработан и собран модуль высокотемпературного отжига материалов.
Модуль состоит из двух независимых блоков нагрева (950 ° С и 1300 °С) и позволяет производить отжиг материалов в вакууме и различных газовых средах. Максимальные размеры образца ‒ (Д х В х Ш, мм) – 50х10х10, скорость нагрева в первом блоке до 950°С ‒ 7.5 мин., во втором до 1200°С ‒ 103 минуты.
Разработан и собран модуль подогрева образца в микрозондовой станции Cascade Microtech MPS 150. Модуль имеет независимое от измерительного тракта управление нагревом и позволяет нагревать образец до 120 °С за 7,5 мин и поддерживать температуру образца с точностью до 0,1 °С.
Разработан и собран модуль высокотемпературного отжига материалов.
Модуль состоит из двух независимых блоков нагрева (950 ° С и 1300 °С) и позволяет производить отжиг материалов в вакууме и различных газовых средах. Максимальные размеры образца ‒ (Д х В х Ш, мм) – 50х10х10, скорость нагрева в первом блоке до 950°С ‒ 7.5 мин., во втором до 1200°С ‒ 103 минуты.