Исследование энергетического спектра пучков быстрых и нейтральных атомов.
Аннотация
Дипломная работа 81 с., 30 рисунков, 24 источника.
ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ИОННЫЙ ИСТОЧНИК, АНОД, РАЗРЯД НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ, ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛА, КАТОД, ПЕРЕЗАРЯДКА ИОНОВ, МЕТОД ЛЕНГМЮРА, ЗОНД ЛЕНГМЮРА.
Цель работы: исследование генерации пучков нейтральных частиц в тлеющем разряде с полым катодом.
В исследовании был использован метод зондов Ленгмюра и метод травления образцов.
Результаты работы: экспериментально подтверждена возможность генерации пучка нейтральных атомов и молекул при давлении до 0,5 Па. Определена скорость травления материалов мишени при различных параметрах тлеющего разряда с полым катодом. Определена зависимость доли нейтральных частиц в пучке, падающем на мишень от различных параметров тлеющего разряда. Проведено исследование возможности объемного травления материала мишени.
Новизна: определены зависимости скорости травления материала мишени при помощи пучка нейтральных частиц от различных характеристик плазмы, при использовании разнообразных материалов мишени и разных геометрических сеток на данной экспериментально - учебной установке. Определена доля нейтральных атомов и молекул в пучке частиц в тлеющем разряде с полым катодом. Исследовано воздействие пучка нейтральных частиц и молекул на материал объемной мишени.
Область применения: исследование процессов в низкотемпературной плазме.
ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ИОННЫЙ ИСТОЧНИК, АНОД, РАЗРЯД НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ, ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛА, КАТОД, ПЕРЕЗАРЯДКА ИОНОВ, МЕТОД ЛЕНГМЮРА, ЗОНД ЛЕНГМЮРА.
Цель работы: исследование генерации пучков нейтральных частиц в тлеющем разряде с полым катодом.
В исследовании был использован метод зондов Ленгмюра и метод травления образцов.
Результаты работы: экспериментально подтверждена возможность генерации пучка нейтральных атомов и молекул при давлении до 0,5 Па. Определена скорость травления материалов мишени при различных параметрах тлеющего разряда с полым катодом. Определена зависимость доли нейтральных частиц в пучке, падающем на мишень от различных параметров тлеющего разряда. Проведено исследование возможности объемного травления материала мишени.
Новизна: определены зависимости скорости травления материала мишени при помощи пучка нейтральных частиц от различных характеристик плазмы, при использовании разнообразных материалов мишени и разных геометрических сеток на данной экспериментально - учебной установке. Определена доля нейтральных атомов и молекул в пучке частиц в тлеющем разряде с полым катодом. Исследовано воздействие пучка нейтральных частиц и молекул на материал объемной мишени.
Область применения: исследование процессов в низкотемпературной плазме.