Получение SiAlCN и SiAlCO покрытий методом реактивного анодного испарения алюминия в парах кремнийорганического прекурсора
Аннотация
Отчет 58 с., 21 рис., 62 источн.
Ключевые слова: самонакаливаемый полый катод, секционный анод, дуговой разряд, SiAlCN, SiAlO покрытия, кремнийорганические прекурсоры.
Объект ВКР – парогазовые среды Ar+Al+N2+ГМДС (Ar+Al+O2+ТЭОС) для нанесения керамических покрытий на основе Si-Al-C-N и Si-Al-C-O методом реактивного анодного испарения Al в плазме дугового разряда.
Цель работы – исследование условий активации компонентов парогазовых смесей Ar+Al+N2+ГМДС и Ar+Al+O2+ТЭОС при анодном испарении Al в сильноточном дуговом разряде с самонакаливаемым полым катодом и секционным анодом для получения Si-Al-C-N и Si-Al-C-O.
Область применения: такие покрытия могут применяться как износостойкие, термостойкие, стойкие к окислению протекторные покрытия и в качестве функционального слоя для создания высокотемпературных датчиков.
Методы исследования: оптическая эмиссионная спектроскопия, метод шарового истирания, метод микроиндентирования.
Полученные результаты: исследовано влияние условий получения покрытий на основе Si-Al-C-N и Si-Al-C-O, в частности, состава активных парогазовых сред на скорости нанесения, твердости полученных покрытий, также проведена оценка степеней диссоциации реактивных газов N2 и O2 и разложения гексаметилдисилазана и тетраэтоксисилана
Новизна: впервые методом термического анодного испарения Al и разложения кремнийорганических прекурсоров получены PDC покрытия, которые могут применяться в дальнейшем для создания малогабаритных датчиков давления и температуры.
Работа относится к области физической электроники, связанной с вакуумно–плазменными технологиями модификации материалов.
Ключевые слова: самонакаливаемый полый катод, секционный анод, дуговой разряд, SiAlCN, SiAlO покрытия, кремнийорганические прекурсоры.
Объект ВКР – парогазовые среды Ar+Al+N2+ГМДС (Ar+Al+O2+ТЭОС) для нанесения керамических покрытий на основе Si-Al-C-N и Si-Al-C-O методом реактивного анодного испарения Al в плазме дугового разряда.
Цель работы – исследование условий активации компонентов парогазовых смесей Ar+Al+N2+ГМДС и Ar+Al+O2+ТЭОС при анодном испарении Al в сильноточном дуговом разряде с самонакаливаемым полым катодом и секционным анодом для получения Si-Al-C-N и Si-Al-C-O.
Область применения: такие покрытия могут применяться как износостойкие, термостойкие, стойкие к окислению протекторные покрытия и в качестве функционального слоя для создания высокотемпературных датчиков.
Методы исследования: оптическая эмиссионная спектроскопия, метод шарового истирания, метод микроиндентирования.
Полученные результаты: исследовано влияние условий получения покрытий на основе Si-Al-C-N и Si-Al-C-O, в частности, состава активных парогазовых сред на скорости нанесения, твердости полученных покрытий, также проведена оценка степеней диссоциации реактивных газов N2 и O2 и разложения гексаметилдисилазана и тетраэтоксисилана
Новизна: впервые методом термического анодного испарения Al и разложения кремнийорганических прекурсоров получены PDC покрытия, которые могут применяться в дальнейшем для создания малогабаритных датчиков давления и температуры.
Работа относится к области физической электроники, связанной с вакуумно–плазменными технологиями модификации материалов.