Получение плёнок алюмо-магниевой шпинели методом анодного испарения металла в кислород содержащей анодной плазме дугового разряда с самонакаливаемым термоэмиссионным катодом
Аннотация
Выпускная квалификационная работа бакалавра 76 с., 35 рис., 38 источн.
Ключевые слова: алюмо-магниевая шпинель, самонакаливаемый термоэмиссионный катод, вакуумная техника, анодное испарение, дуговой разряд, кислородосодержащая анодная плазма дугового разряда, тонкие плёнки, модификация поверхности.
Объект ВКР: MgAl2O4 покрытия, нанесённые на металлические и кварцевые образцы методом анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда (до 50 А).
Цель работы: получение тонких плёнок MgAl2O4 покрытий методом реактивного анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда с самонакаливаемым полым катодом.
Методы исследования: метод шарового истирания поверхности, метод микроиндентирования, рентгенофазовый анализ состояния покрытия (РФА), энергодисперсионный анализ (ЭДА), оптическая эмиссионная спектроскопия, сканирующая электронная микроскопия.
Полученные результаты: MgAl2O4 покрытия с твёрдостью 10-30 ГПа на металлических образцах с высокой скоростью нанесения до 6 мкм/ч при температуре подложки 270-550 ºС.
Область применения: MgAl2O4 покрытия находят своё применение в промышленности, машиностроении в качестве жаростойких покрытий, защищающих детали конструкций от агрессивных сред при высоких температурах, и обладающие высокой механической прочностью.
Значимость работы заключается в синтезировании в плазме дугового разряда твёрдого MgAl2O4 покрытия методом реактивного анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда с самонакаливаемым полым катодом с высокими скоростями нанесения до 6 мкм/ч.
Работа относится к области физической электроники, связанной с вакуумно-плазменными технологии модификации материалов.
Ключевые слова: алюмо-магниевая шпинель, самонакаливаемый термоэмиссионный катод, вакуумная техника, анодное испарение, дуговой разряд, кислородосодержащая анодная плазма дугового разряда, тонкие плёнки, модификация поверхности.
Объект ВКР: MgAl2O4 покрытия, нанесённые на металлические и кварцевые образцы методом анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда (до 50 А).
Цель работы: получение тонких плёнок MgAl2O4 покрытий методом реактивного анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда с самонакаливаемым полым катодом.
Методы исследования: метод шарового истирания поверхности, метод микроиндентирования, рентгенофазовый анализ состояния покрытия (РФА), энергодисперсионный анализ (ЭДА), оптическая эмиссионная спектроскопия, сканирующая электронная микроскопия.
Полученные результаты: MgAl2O4 покрытия с твёрдостью 10-30 ГПа на металлических образцах с высокой скоростью нанесения до 6 мкм/ч при температуре подложки 270-550 ºС.
Область применения: MgAl2O4 покрытия находят своё применение в промышленности, машиностроении в качестве жаростойких покрытий, защищающих детали конструкций от агрессивных сред при высоких температурах, и обладающие высокой механической прочностью.
Значимость работы заключается в синтезировании в плазме дугового разряда твёрдого MgAl2O4 покрытия методом реактивного анодного испарения в плазме сильноточного дугового разряда с самонакаливаемым полым катодом с высокими скоростями нанесения до 6 мкм/ч.
Работа относится к области физической электроники, связанной с вакуумно-плазменными технологии модификации материалов.