Исследование условий активации парогазовой среды для синтеза многокомпонентных покрытий в дуговом разряде с полым катодом и активным анодом

Кузнецов Кирилл Геннадьевич

Аннотация


Выпускная квалификационная работа бакалавра 51 страница, 25 рисунков, 34 источника
МЕТОД АНОДНОГО ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛА, СИЛЬНОТОЧНЫЙ ДУГОВОЙ РАЗРЯД, РАЗЛОЖЕНИЕ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕКУРСОРА В ПЛАЗМЕ, КОМПОЗИТНЫЕ Ti–Si–C–N ПОКРЫТИЯ
Объект исследования: Плазма сильноточного дугового разряда в установке по нанесению TiN и композитных Ti–Si–C–N покрытий методом анодного испарения, влияние условий горения разряда на разложение прекурсора, активацию паров титана и реактивных газов.
Цель работы: Изучение влияния параметров сильноточного дугового разряда с самонакаливаемым полым катодом и секционным анодом на параметры плазмы, ее состав и степень активации различных компонентов, в целях дальнейшей оптимизации условий получения Ti–Si–C–N покрытий.
Область применения: Ti–Si–C–N покрытия применяются в промышленности, ракетостроении, машиностроении в качестве покрытий, защищающие конструкционные детали от агрессивных сред.
Методы исследования: оптическая эмиссионная спектроскопия, измерение зондом Ленгмюра.
Полученные результаты: Экспериментальные данные о функционировании газоразрядной системы на основе СНПК и влиянии условий горения разряда на степень активации ГМДС, паров металла и реактивных газов (азот, аргон, ацетилен).
Новизна: изучено влияние режимов горения разряда с самонакаливаемым полым катодом (СНПК) и активным анодом на степень разложения ГМДС, ионизацию паров титана, степень диссоциации азота и ацетилена.
Работа относится к области физической электроники, связанной с вакуумно–плазменными технологии модификации материалов.