Оценка влияния способов изготовления образцов на разрешение изображений, полученных методом полевой ионной микроскопии

Смирнов Артем Евгеньевич

Аннотация


Выпускная квалификационная работа бакалавра 51 с., 44 рис., 8 табл., 11 источников.
ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ СПОСОБОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ НА РАЗРЕШЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ПОЛЕВОЙ ИОННОЙ МИКРОСКОПИИ.
Объектом исследования являются образцы для полевой ионной микроскопии.
Цель работы: исследовать режимы изготовления образцов на полуавтоматической установке для поиска наиболее эффективных, позволяющих получить значение радиуса острия эмиттера в диапазоне до 30нм, с последующим их применением в полевом ионном микроскопе.
В данной выпускной квалификационной работе был произведен обзор литературы и изложены принципы полевой автоионной микроскопии, рассмотрены конструктивные особенности приборов, описаны способы получения образцов и принципы интерпретации полученных изображений, опробованы различные режимы получения образцов на полуавтоматической установке, изготовлен образец для исследования в полевом ионном микроскопе, выполнен расчет радиуса острия.