Разработка и создание устройства автоматизированного изготовления образцов для полевой автоионной микроскопии
Аннотация
Пояснительная записка 63 с., 44 рис., 5 табл., 11 источников.
РАЗРАБОТКА И СОЗДАНИЕ УСТРОЙСТВА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПОЛЕВОЙ АВТОИОННОЙ МИКРОСКОПИИ
Объектом исследования являются образцы для полевой ионной микроскопии.
Цель работы: разработка, создание и апробация устройства для полуавтоматического изготовления образцов в виде острых иголок с контролируемым изменением и оценкой угла при вершине конуса и радиуса острия с последующим исследованием образцов.
В данной выпускной квалификационной работе был произведен литературный обзор по принципу работы полевой автоионной микроскопии, а также была разработана и реализована установка по созданию образцов для полевой автоионной микроскопии методом травления.
РАЗРАБОТКА И СОЗДАНИЕ УСТРОЙСТВА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПОЛЕВОЙ АВТОИОННОЙ МИКРОСКОПИИ
Объектом исследования являются образцы для полевой ионной микроскопии.
Цель работы: разработка, создание и апробация устройства для полуавтоматического изготовления образцов в виде острых иголок с контролируемым изменением и оценкой угла при вершине конуса и радиуса острия с последующим исследованием образцов.
В данной выпускной квалификационной работе был произведен литературный обзор по принципу работы полевой автоионной микроскопии, а также была разработана и реализована установка по созданию образцов для полевой автоионной микроскопии методом травления.