Оптические свойства тонких пленок оксида гадолиния для опто-, микро и наноэлектроники

Мамонов Андрей Павлович

Аннотация


Объект исследования – пленки оксида гадолиния.
Цель работы – получение оптических констант двух пленок оксида гадолиния и сравнения их с константами других пленок оксида гадолиния, синтезированных другими методами.
Методы исследования: метод магнетронного распыления.
В ходе выполнения данной выпускной квалификационной работы были синтезированы две пленки оксида гадолиния разной толщины.
В результате выполнения экспериментов были сделаны рентгенограмма пленок и были сняты спектры их пропускания в диапазоне 370-800 нм, анализируя которые, можно сделать вывод о том, что методом магнетронного распыления, можно получать пленки, которые наиболее перспективны для создания эффективных просветляющих покрытий и компонентов планарных волноводов, в сравнении с пленками оксида гадолиния, синтезированными другими методами