Комплексное исследование микроструктуры твердых TiN покрытий методами рентгеновской дифракции
Аннотация
Целью исследования является комплексный анализ микроструктуры твердых покрытий TiN методами рентгеновской дифракции.
Для достижения указанной цели решались следующие задачи:
• Фазовый анализ образцов;
• Определение текстуры образцов;
• Определение микронапряжений;
• Определение ОКР образцов;
• Сравнение полученных данных по покрытиям TiAlSiN с данными, полученными по покрытиям TiN
• Изучение зависимости текстуры образцов от условий распыления.
Дипломная работа состоит из введения, четырёх глав, списка литературы и приложений.
Во введении кратко обоснована актуальность выбранной тематики, сформулированы цели исследования и указаны задачи, решение которых необходимо для выполнения работы, показана практическая значимость проведённых исследований.
В первой главе представлен обзор литературных данных по эволюции текстуры в покрытиях TiN на основе теории минимизации полной свободной энергии Гиббса растущей частицы, которая состоит из поверхностной энергии и энергии упругих деформаций.
Во второй главе описаны основные теоретические аспекты изучения микроструктуры методами рентгеновской дифракции. Описаны влияния различных факторов на форму, положение и ширину дифракционных рефлексов.
В третьей главе изложены данные об условиях синтеза покрытий, а также условия проведения дифракционной съемки.
В четвертой главе представлен подробный комплексный анализ образцов, который состоит из фазового анализа, расчета параметров решетки, расчета коэффициентов текстурированности для каждой кристаллографической плоскости, расчета микронапряжений в образах, расчета ОКР и оценки величины остаточных напряжений в образцах.
В Заключении диссертации излагаются основные результаты проделанной работы.
В приложениях представлены необходимые данные для всех проведенных расчетов.
Для достижения указанной цели решались следующие задачи:
• Фазовый анализ образцов;
• Определение текстуры образцов;
• Определение микронапряжений;
• Определение ОКР образцов;
• Сравнение полученных данных по покрытиям TiAlSiN с данными, полученными по покрытиям TiN
• Изучение зависимости текстуры образцов от условий распыления.
Дипломная работа состоит из введения, четырёх глав, списка литературы и приложений.
Во введении кратко обоснована актуальность выбранной тематики, сформулированы цели исследования и указаны задачи, решение которых необходимо для выполнения работы, показана практическая значимость проведённых исследований.
В первой главе представлен обзор литературных данных по эволюции текстуры в покрытиях TiN на основе теории минимизации полной свободной энергии Гиббса растущей частицы, которая состоит из поверхностной энергии и энергии упругих деформаций.
Во второй главе описаны основные теоретические аспекты изучения микроструктуры методами рентгеновской дифракции. Описаны влияния различных факторов на форму, положение и ширину дифракционных рефлексов.
В третьей главе изложены данные об условиях синтеза покрытий, а также условия проведения дифракционной съемки.
В четвертой главе представлен подробный комплексный анализ образцов, который состоит из фазового анализа, расчета параметров решетки, расчета коэффициентов текстурированности для каждой кристаллографической плоскости, расчета микронапряжений в образах, расчета ОКР и оценки величины остаточных напряжений в образцах.
В Заключении диссертации излагаются основные результаты проделанной работы.
В приложениях представлены необходимые данные для всех проведенных расчетов.